国家标准计划《微机电系统（MEMS）技术 薄膜材料的弯曲试验方法》由 TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 工业和信息化部电子第五研究所 、苏州市质量和标准化院 、中国科学院中科院微电子研究所 、中机生产力促进中心有限公司等 。

本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-18:2013。

采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第18部分：薄膜材料的弯曲试验方法。