国家标准计划《微机电系统(MEMS)技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法》由 TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准化管理委员会。 拟实施日期:发布后6个月正式实施。
主要起草单位 北京大学 、中机生产力促进中心 、北京智芯传感科技有限公司 、无锡华润上华科技有限公司 、中北大学 、北京必创科技股份有限公司 。
主要起草人 张威 、李海斌 、张亚婷 、朱悦 、夏长奉 、石云波 、陈得民 、马书嫏 、程红兵 、周浩楠 。
31 电子学 |
31.200 集成电路、微电子学 |