国家标准计划《微机电系统（MEMS）技术 薄膜材料的弯曲试验方法》由 TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 工业和信息化部电子第五研究所 、苏州市质量和标准化院 、中国科学院中科院微电子研究所 、中机生产力促进中心有限公司等 。

本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-18:2013。

采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第18部分：薄膜材料的弯曲试验方法。

微机电技术迅猛发展，基于微机电技术的产品已广泛应用于消费电子、汽车、工业、国防等领域，典型产品包括加速度计、陀螺仪、压力计、微振镜、滤波器等。

微机电器件含有的微机械结构具有可动特点，薄膜是其典型且关键结构，薄膜特性直接关系着微机电器件的性能、可靠性等特性，需要对其特性开展测量。

本标准的制定可面向微机电器件的结构加工、产品研制、产品应用、产品检验等单位开展应用，对微机电器件产品的推广应用具有重要作用。

薄膜是MEMS产品的主要结构材料，本标准规定了长度和宽度小于1mm、厚度在0.1μm和10μm之间的薄膜材料的弯曲试验方法。本标准规定了微尺寸光滑悬臂型试样的弯曲试验和试样形状，从而保证了与特殊特性相对应的精度。 主要技术内容包括：试件（包括试件的设计、准备、尺寸测量、测试前的存储），测试方法（包括一般原则、试件的安装方法、加载方法、测试速度、位移测量、测试环境、数据分析、试件材料），测试报告（包括强制性选项、可选项）等内容，还包括试件/基板界面的注意事项、力-位移关系的注意事项等附录内容。