国家标准计划《微机电系统（MEMS）技术 MEMS压电薄膜机电转换特性的测量方法》由 TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 北京自动化控制设备研究所 、中机生产力促进中心有限公司等 。

本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-30:2017。

采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第30部分：MEMS压电薄膜机电转换特性的测量方法。