厦门天马微电子有限公司（以下简称“厦门天马”）是天马微电子集团旗下也是中国重要的高端显示屏生产基地。厦门天马在新型显示领域实现重大技术突破，填补了中国的空白，代表中国在高端显示领域打破长期的国际垄断。

　　厦门天马在LTPS产品领域拥有核心自主知识产权，已成功自主研发全面屏技术、LTPS量产技术、TED IN-CELL（内嵌式单芯片集成触控）技术、FORCE TOUCH（压力触控）技术、VR/AR（虚拟现实/增强现实）技术、超窄边框技术、超高解析度技术、裸眼3D技术、FULL HD（全高清）技术等全球最先进的显示技术，广泛应用于移动智能终端市场，带动公司收入增长的同时，增强了天马集团在全球显示市场的综合竞争力。

　　一、背景情况

　　伴随消费者已日渐习惯于日常生活中使用智能手机和平板电脑，以往的汽车大多以机械为主、电子为辅的车载系统已不能满足人们的需求，随着科技的进步，智能车载显示设备和驾驶者的生活联系变得愈发紧密。天马集团为了拓宽产业链，增强公司竞争力，从市场中抓取商机，决定导入车载屏幕生产线。

　　2017年厦门天马产业基地经评估承接导入车载产品研发生产项目，最大瓶颈是如何提高穿透率并实现实时监控测量，并保证其数据准确可靠。

　　二、技术措施

　　为了能够准确地监控穿透率的真实数据，公司深入研究了穿透率的测量原理及ITO的材料特性。

　　1.穿透率的量测原理（见图1）

　　先以平行光照射基板取得入射光强度T1，再放置镀膜基板，取得穿透光强度T2，即：

　　穿透率T=穿透光强度/入射光强度=T2/T1

　　从ITO穿透率的测量原理分析，ITO的膜层材质以及厚度会对其穿透Tr有影响。

　　2.ITO（导电玻璃）材料特性分析

　　由于ITO属于晶体（氧化铟锡），成膜温度以及真空气氛会影响其结晶性能。氧气含量，影响到晶体中氧缺陷的数量，从而影响光吸收（即ITO穿透）以及导电性能（即ITO方阻）。

　　而ρ=Rd（d为膜厚,ρ为材料的电导率，R为方阻），从公式中可以看出电导率与膜厚和方阻乘积成正比。

　　综上分析，只要控制ITO穿透率及电导率两个关键参数，就能大大提高产品的穿透率。

　　3.计量测试方法导入（见图2）

　　在选取计量监控穿透率和电导率的测试仪时，根据产品的制程能力、规格范围，分别选取了精密度较高的穿透率传感器及四点探针测试仪作为实时监控测量仪器，考虑到后续监控、测试的便捷性、实用性与价格经济性，将两个测量仪器兼容在一起形成一个完整的测试系统同时监控生产过程，经过一段时间的调试已稳定运行，并经过计量校准合格，现已投入产品量产使用。

　　三、具体成效

　　技术攻关后，厦门天马基地成功完成了车载产品从研发到量产的转化，为公司承接车载产品订单打下了良好的技术基础，为公司拓宽了产品领域，增强了市场竞争力。

　　2017年，天马在全球车载市场的整体占有率约为12％。作为中国最大的TFT车载面板厂商，在全球带TFT仪表显示的汽车中，每五台就有一台采用了天马显示屏，均得益于厦天马的出货快速增长。中国大陆面板品牌在全球上的市场份额，也从过去不到5％上升到2018年的21％，全球排名上升到第二名。

　　四、感受体会

　　通过此次计量案例的研究，深刻体会到将计量测试嵌入到产品研发、制造、质量提升、全过程工艺控制中，实现关键量准确测量与实时校准的重要性。后续会进一步增加计量测试技术的研究，加强计量测试技术与产品研发、生产的融合，加强计量技术成果转化，为公司增加核心竞争力添砖加瓦。