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        • 提升光刻机制造质量面临的挑战
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        • 发布时间：2022-06-14 16:02        
                          信息来源：计量司
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        　　光刻机是是制造芯片的核心装备。我国在提升光刻机制造质量上面临着哪些挑战？中国工程院院士、哈尔滨工业大学教授谭久彬带你走近《提升光刻机制造质量面临的挑战》。